Bonn 2000 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 16: Plasmadiagnostik (Poster)

P 16.19: Poster

Mittwoch, 5. April 2000, 10:30–13:00, Aula

Untersuchung der Reaktionskinetik eines CH₄/O₂-Plasmas mittels Absorptionsspektroskopie und einem numerischen Modell — •I. Möller, Y. Ivanov und H. Soltwisch — Institut für Experimentalphysik V, Ruhr-Universität Bochum

Reaktive Kohlenwasserstoffplasmen mit einer Beimischung von Sauerstoff sind aufgrund ihrer komplexen Plasmachemie noch weitgehend unverstanden. Mittels Infrarot-Absorptionsspektroskopie können die Dichte und die Temperatur der molekularen Spezies direkt aus den Linineprofilen ermittelt werden. Die notwendige spektrale Auflösung wird durch den Einsatz schmalbandiger durchstimmbarer Laserdioden gewährleistet. Zur Steigerung der Sensitivität wurde eine Multipassanordnung nach Herriott eingesetzt.
Um die Interpretation der experimentellen Ergebnisse zu erleichtern, wurde ein einfaches zeitunabhängiges 1D-Modell des Plasmabulks entwickelt. Zur Vereinfachung der Numerik ist das Modell aus separaten Modulen aufgebaut, die Selbstkonsistenz durch Iteration erreichen.
Erste experimentelle Messungen an einer induktiv-gekoppelten RF-Entladung (13.56 MHz) werden vorgestellt und mit experimentellen und numerischen Ergebnissen verglichen, die in vorangegangenen Untersuchungen an einer kapazitiven Entladung gewonnen wurden.