Bonn 2000 – scientific programme

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P: Plasmaphysik

P 16: Plasmadiagnostik (Poster)

P 16.23: Poster

Wednesday, April 5, 2000, 10:30–13:00, Aula

Lichtstreuung an reaktiven RF-Plasmen in einer induktiv gekoppelten GEC-Zelle — •M. Kaczor und H. Soltwisch — Institut für Experimentalphysik V, Ruhr-Universität Bochum

Im Bereich reaktiver Niedertemperatur-Plasmen sind CH₄−O₂ Plasmen wegen ihrer technischen Relevanz von besonderem Interesse. Ihre Eigenschaften hängen allerdings stark von den Randbedingungen in der verwendeten Quelle ab. Um einen Austausch der Ergebnisse mit anderen Gruppen zu ermöglichen, wurde eine induktiv gekoppelte GEC-Zelle gewählt und aufgebaut. An dieser wurde eine in vorangegangenen Arbeiten entwickelte Vielkanal-Streudiagnostik installiert, die parallel in acht spektralen Kanälen einzelne Photonen detektieren und den zeitlichen Verlauf des Streulichtes erfassen kann. Als Lichtquelle dient hierbei ein abstimmbarer, frequenzverdoppelter Ti:S-Laser (430 nm - 470 nm) mit 1 kHz Repetitionsrate und 1 mJ pro Laserschuß. Die Anpassungen der Systems an die Bedingungen an der GEC-Zelle und erste Messungen in Ar, He und O₂ werden vorgestellt.