Bonn 2000 – scientific programme
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P: Plasmaphysik
P 18: Plasmatechnologie (Poster)
P 18.6: Poster
Wednesday, April 5, 2000, 10:30–13:00, Aula
Spektroskopische Bestimmung der CF2 - und CF3 - Konzentration in Fluorcarbon-Plasmen einer dielektrischen Barriere - Entladung — •A. Dinckelmann, H. Schmidt, I. Vinogradov und A. Lunk — Institut für Plasmaforschung, Universität Stuttgart, Pfaffenwaldring 31, 70569 Stuttgart
Die dielektrische Barriere-Entladungen, betrieben bei Atmosphärendruck in
Fluorcarbon-Verbindungen, wurde eingesetzt zur Abscheidung hydro- und
oleophober Schichten. Als Trägergas diente Argon mit unterschiedlichen
Zusätzen von Stickstoff und Luft. Wichtige Precursoren für die PTFE
Polymerbildung sind sowohl Karben (CF2) als auch das CF3 -Radikal in der
Entladung. Die relativen Konzentrationen von CF2 und CF3
wurden mittels
hochauflösender Emissionsspektroskopie im UV- und VIS- Bereich bestimmt.
Die Messungen wurden in CF4, C2F6, C2H2F4 und c − C4F8
durchgeführt. Die höchsten CF3 - Konzentrationen bei gleichen
äußeren Parametern ergaben sich in CF4 und C2F6. Bei
Zugabe von N2
ist das CF3 - Radikal stark gequencht. In C2F6, C2H2F4 und c −
C4F8 konnte eine verstärkte Karbenbildung beobachtet werden, deren
Konzentration durch N2 bzw. N2/O2 - Gemische beeinflußbar
ist. Die
gefundenen Abhängigkeiten wurden mit IR-absorptionsspektroskopischen
Konzentrationsmessungen relevanter Endprodukte verglichen.
Gefördert durch BMBF, Fördernr.: 13N7274/2