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P: Plasmaphysik

P 20: Entladungen (Poster)

P 20.14: Poster

Donnerstag, 6. April 2000, 17:00–19:30, Aula

Erzeugung von Gasentladungen bei Atmospärendruck mittels Mikro-Struktur-Elektroden (MSE): Eine neuartige Plasmaquelle — •C. Penache, A. Bräuning-Demian, L. Spielberger und H. Schmidt-Böcking — Inst. f. Kernphysik, Univ. Frankfurt, M.

Eine neuartige Plasmaquelle zur Erzeugung von Gasentladungen in einem weiten Druckbereich – hunderte mbar bis Atmosphärendruck – wird vorgestellt. Sie basiert auf einer regulären Mikroelektrodenmatrix, hergestellt mit modernen mikrotechnischen Verfahren, die eine geometrische Strukturierung im Sub-Millimeterbereich aufweist. Sie erlaubt die Erzeugung von stabilen DC-Entladungen sowohl in Edelgasen als auch in Luft unter Verwendung von moderaten angelegten Spannungen. Dabei ist eine Reihe verschiedener Elektrodenformen möglich. Hier wird der Schwerpunkt auf einer dreidimensionalen Anordnung von porenförmigen Elektroden in einem Folienträger liegen. Mit Arrays dieser Elektroden ist es möglich, eine Vielzahl dieser Mikro-Entladungen parallel zu betreiben, sowie auch ein homogenes Plasma über der Folienoberfläche zu erzeugen.

Es werden elektrische Kenndaten der Entladungen und optische Untersuchungen gezeigt und auf den Einfluß der Elektrodengeometrie, Gasart und Druck eingegangen.

Mögliche Anwendungen dieser neuartigen Plasmaquelle liegen in der Plasmachemie in der Gasphase sowie in der Reinigung und Veredelung von Oberflächen. Dabei können die Prozesse sehr einfach über die an den Elektroden angelegte Spannung gestreuert werden.

Gefördert von: Deutsche Bundesstiftung Umwelt und BMBF.