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P: Plasmaphysik

P 20: Entladungen (Poster)

P 20.26: Poster

Donnerstag, 6. April 2000, 17:00–19:30, Aula

Spektroskopische Bestimmung von Besetzungsdichten in CCRF-angeregten Edelgasentladungen für Laseranwendungen — •J. Schulze, D. Teuner und J. Mentel — Ruhr-Universität Bochum, Arbeitsgruppe für Grundlagen der Elektrotechnik, D-44780 Bochum

An einer transversal kapazitiv angeregten Helium HF-Entladung wurden die absolute Linienintensität und mit dem Eigenlichtverfahren der effektive Absorptionskoeffizient gemessen. Hierbei wird das End-On emittierte Licht der Entladungssäule in sich zurückreflektiert. Mit Hilfe einer telezentrischen Abbildung und einem OMA-System werden die spektroskopischen Größen über den Entladungsquerschnitt ortsaufgelöst gemessen. Aus diesen konnten mit bekannten Übergangswahrscheinlichkeiten die Besetzungsdichten der Anfangs - und Endniveaus der optischen Übergänge bestimmt werden. Unter der Annahme einer Boltzmannbesetzung der angeregten Heliumniveaus wurde mit Boltzmannplots die Elektronentemperatur und aus der Besetzungsdichte angeregter Zustände mit der Sahagleichung die Ladungsträgerdichte ermittelt. Im wesentlichen folgen die Besetzungs - und Ladungsträgerdichten dem Emissionsprofil. Bei geringem Druck (1 kPa) werden ein breites Maximum in der Mitte der Entladung, bei höheren Drücken (10 kPa) zwei Maxima vor den Elektroden und ein Minimum in der Entladungsmitte beobachtet. Die Elektronentemperatur ist über den Entladungsquerschnitt weitgehend konstant. Die Ladungsträgerdichte steigt linear mit der eingekoppelten HF-Leistung.
(Gefördert durch die DFG, SFB 191, Projekt A10)