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P: Plasmaphysik

P 24: Plasma-Wand-Wechselwirkung (Poster)

P 24.1: Poster

Donnerstag, 6. April 2000, 17:00–19:30, Aula

Energieverteilung gesputterter Metall-Atome und -Ionen in einer Gleichstrom-Magnetron-Entladung — •Tobias Röwf, Jochen Deiwiks, Holger Kersten und Rainer Hippler — Institut für Physik, Universität Greifswald, Domstraße 10 A, D-17489 Greifswald

Die Energieverteilung von gesputterten Titan-Atomen und -Ionen in

einer Gleichstrom-Magnetron-Entladung wurde mit Hilfe eines

energiedispersiven Massenspektrometers (Plasma-Monitor)

untersucht. Die Öffnung des Plasma-Monitors zeigt auf den

Ätzgraben des Magnetrons, um eine hohe Anzahl von Teilchen

nachweisen zu können. Mit zunehmendem Argon-Gasdruck in der

Entladung wird eine Verschiebung der gemessenen Energieverteilung

der Metall-Ionen zu niedrigeren Energien beobachtet. Gleichzeitig

steigt der Anteil der thermischen Argon-Ionen durch zunehmende

Stöße. Aus den Energieverteilungen der Titan-

beziehungsweise Argon-Teilchen lassen sich Rückschlüsse

über die Umladungsprozesse auf dem Weg vom Target zum

Plasma-Monitor ableiten. Die Energieverteilungen werden mit

Modellrechnungen (TRIM und Thompson) verglichen.