Bonn 2000 – scientific programme
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P: Plasmaphysik
P 7: Plasmatechnologie
P 7.3: Talk
Tuesday, April 4, 2000, 17:30–17:45, HS V
Untersuchungen zur Reaktionskinetik von Fluor-Kohlenstoff-Verbindungen in der dielektrisch behinderten Entladung — •I. Vinogradov, A. Dinckelmann, H. Schmidt und A. Lunk — Institut für Plasmaforschung, Universität Stuttgart, Pfaffenwaldring 31, 70569 Stuttgart
In einer dielektrisch behinderten Entladung (DBE) wurde in Abhängigkeit
von der Konzentration der eingesetzten Fluor-Kohlenstoff-Verbindungen (CF4, C2F6, c−C4F8, C2H2F4), dem Trägergas (Ar) mit
Zumischungen (N2, Luft) sowie der eingespeisten Leistung und dem
Puls-Pause-Verhältnis im intermittierenden Betrieb der zeitliche Verlauf
der stabilen Produkte durch IR-Absorptionsspektroskopie untersucht. Die
Diskussion zur Abhängigkeit der Umsatzrate von Gasfluß und Leistung
kann auf der Basis der Yasuda-Zahl durchgeführt werden. Als ein Indikator
für die Abscheidung von Polymerschichten in der DBE, erweist sich der
sogenannte PTFE - Peak bei 740 cm−1, dessen Intensität stark abhängig
von der Art des Reaktionsgases und den Zumischungen im Trägergas ist. Die
höchsten gemessenen PTFE - Anteile ergeben sich beim Zusatz von 9 % c − C4F8. Die Größe der Leistung hat einen geringen Einfluß auf
die PTFE-Bildung. Die gefundenen Abhängigkeiten wurden mit Ergebnissen der
CF3 -, CF2 - Radikal-Konzentrationsbestimmung durch optische
UV-VIS Spektroskopie verglichen.
Gefördert durch BMBF, Fördernr.: 13N7274/2.