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Bonn 2000 – scientific programme

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P: Plasmaphysik

P 8: Entladungen II

P 8.1: Fachvortrag

Tuesday, April 4, 2000, 16:30–17:00, HS IX

Mikrostrukturierte Elektrodensysteme zur Erzeugung flächiger Plasmen bei Atmosphärendruck — •Cordula Geßner, Peter Scheffler und Karl-Heinz Gericke — Institut für Physikalische und Theoretische Chemie, TU Braunschweig, D-38106 Braunschweig

Mit Hilfe mikrotechnischer Verfahren werden kammartig ineinandergreifende Kathoden- und

Anoden-Strukturen im Mikrometermaßstab auf Trägermaterialien aufgebracht. Im DC-

bzw. RF-Betrieb lassen sich in einem weiten Druckbereich, insbesondere auch bei

Atmosphärendruck, homogene, flächige Plasmen zünden. Die typischen

Flächenleistungsdichten im RF-Betrieb (13.56 MHz) betragen ca. 3 W / cm2. Es

werden verschiedene Geometrien der Elektrodensysteme vorgestellt und der Einfluß von

unterschiedlichen Elektroden- und Trägermaterialien diskutiert. Für die so erzeugten

Plasmen ergeben sich vielfältige Anwendungsmöglichkeiten, beispielsweise in der

Umwelttechnologie zur Reinigung von Abgasen, auf dem

Gebiet der plasmachemischen Synthese, bei diversen Verfahren der Oberflächenbehandlung, sowie als Ionisations- und Lichtquellen.

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