Bonn 2000 – wissenschaftliches Programm
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P: Plasmaphysik
P 8: Entladungen II
P 8.4: Vortrag
Dienstag, 4. April 2000, 17:30–17:45, HS IX
Emissionsspektroskopische Untersuchungen an Mikrohohlkathodenentladungen in Argon — •Uwe Ernst1, Oliver Bilwatsch1, Klaus Frank1 und Werner Hartmann2 — 1Physikalisches Institut 1, Erwin-Rommel-Str.1, 91058 Erlangen — 2Siemens AG ZTEN3, Zentralabteilung Technik, Paul-Gossen-Str. 100, 91050 Erlangen
Durch eine Verkleinerung der Hohlkathodenabmessungen von Mikrohohlkathoden in eine Grössenordnung von etwa 100 µm können stabile DC Glimmentladungen bei atmosphärischem Gasdruck oder höher betrieben werden. Es wurde bereits gezeigt, dass diese Entladeform, betrieben in Edelgasen oder Edelgashalogeniden, eine effiziente Quelle von UV- und Excimerstrahlung darstellt [1]. Dies läßt auf einen hohen Anteil an hochenenergetischen Elektronen mit Energien >10eV im Entladeplasma schließen. In dieser Arbeit wurde nun ein Mikrohohlkathodenplasma in Argon mit Hilfe emissionsspektroskopischer Diagnostikmethoden untersucht, um mehr Informationen über das Entladeplasma zu erhalten. Die wichtigen Plasmaparameter, wie Elektronenenergie und -dichte sind bisher nur sehr wenig bekannt. Um diese zu bestimmen wurden verschiedene Meßmethoden
angewandt. Hierzu werden erste Messungen und Ergebnisse vorgestellt. Diese Arbeit wird unterstützt vom DAAD, der DFG (FR1273), der NSF und der Siemens AG ZT EN3 Erlangen.
[1] A. El-Habachi, K.H. Schoenbach, Appl.Phys.Lett. 73(7), pp.885-887 (1998)