Bonn 2000 – scientific programme

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Q: Quantenoptik

Q 38: Poster: Optische Technik

Q 38.7: Poster

Thursday, April 6, 2000, 16:30–19:30, Aula

Phasensingularitäten in der Umgebung dreidimensionaler sub-µm-Strukturen — •Manfred Eberler, Susanne Quabis, Ralf Dorn, Oliver Glöckl und Gerd Leuchs — Physikalisches Institut, Lehrstuhl für Optik, Universität Erlangen-Nürnberg, Staudtstr. 7/B2, 91058 Erlangen

Die Phasenverteilung des von einer sub-µm Struktur zurückgestreuten Feldes wird mit einem hochauflösenden Linnik-Interferenzmikroskop detektiert. In der Phasenverteilung können für die Struktur charakteristische Punkte, sog. Phasensingularitäten beobachtet werden. Dieses sind die Punkte in der Umgebung der Struktur, an denen das elektrische Feld verschwindet und die Phase unbestimmt ist. Ihre Position kann mit einer Genauigkeit von wenigen Nanometern bestimmt werden. Obwohl aus der Position der Singularitäten, die auf 3-dim geschlossenen Kurven liegen, noch kein direkter Rückschluß auf die Struktur möglich ist, können mit Hilfe von Vorab-Informationen und durch Vergleich mit rigorosen Berechnungen einige Objektparameter mit hoher Genauigkeit bestimmt werden. Das Ziel ist es, die Menge der notwendigen a priori Information durch Ausnutzen weiterer Merkmale der Phasenverteilung, wie z.B. dem Gradienten der Phase, zu reduzieren. Desweiteren wird die Position der Singularitäten von der Polarisation des beleuchtenden Feldes beeinflusst . Neben der Beleuchtung in s- und p-Polarisation wird erstmals ein Verfahren zur Beleuchtung mit einer longitudinalen, also senkrecht zur Objektebene liegenden Polarisationsrichtung vorgestellt, die eine weitere Reduktion der Freiheitsgrade des Objektes, und damit eine Beobachtung unterhalb der konventionellen Beugungsgrenze, ermöglicht.