Dresden 2000 – scientific programme

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AKE: Energie

AKE 21: Solartechnik

AKE 21.4: Talk

Tuesday, March 21, 2000, 15:00–15:15, TMATH

Herstellung kristalliner Silizium-Solarzellen mittels Rapid Thermal Processing — •Stefan Peters — Fraunhofer Institut für Solare Energiesysteme ISE, Oltmannsstr. 5, 79100 Freiburg

Im Vergleich zu konventionellen Hochtemperaturprozeßverfahren erlaubt Rapid Thermal Processing (RTP) die Bildung von Halbleiterstrukturen in deutlich kürzeren Prozeßzeiten. Gegenstand dieser Arbeit ist die Herstellung von Phosphor-Emittern, Passivierungsoxiden und Aluminium Back-Surface-Fields hocheffizienter kristalliner Silizium-Solarzellen mittels RTP. Ziel war es, die erforderlichen Prozeßzeiten ohne Einbußen im Solarzellen-Wirkungsgrad zu minimieren. Die eingesetzten Charakterisierungsmethoden umfaßten unter anderem Vier-Punkt-Messungen, SIMS, mikrowellendetektiertes Leitfähigkeitsabklingen, Ellipsometrie, IV- und Quantenausbeute-Messungen. Als Ausgangsmaterial für Solarzellen wurde monokristallines Czochralski-Si verwendet. Es konnten Wirkungsgrade bis 17,5 % realisiert werden, wobei die Hochtemperaturprozeßzeit unter einer Minute lag.