Dresden 2000 – wissenschaftliches Programm

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AKE: Energie

AKE 21: Solartechnik

AKE 21.5: Vortrag

Dienstag, 21. März 2000, 15:15–15:30, TMATH

Schnelle Sinterprozesse für Siebdruckkontakte auf kristallinen Siliziumsolarzellen — •Dominik M. Huljić — Fraunhofer Institut für Solare Energiesysteme ISE, Oltmannsstr. 5, 79100 Freiburg

Das Sintern siebgedruckter Kontakte mit Rapid Thermal Processing (RTP) stellt eine interessante Alternative zu den üblicherweise eingesetzten Infrarot–Durchlauföfen dar. So erlaubt RTP zum einen kurze Prozeßzeiten von weniger als einer Minute und eignet sich andererseits aufgrund der in–situ–Temperaturmessung und seiner Flexibilität bei der Wahl der Prozeßparameter hervorragend zur Untersuchung der Kontaktbildung. Unter Ausnutzung steiler Temperaturrampen und kurzer Temperaturpeaks wurden nach einer Prozeßoptimierung Füllfaktoren von bis zu 80,5 % auf Cz–Si erreicht, was die Eignung von RTP zum Sintern siebgedruckter Kontakte verdeutlicht. Anhand von Messungen des spezifischen Widerstandes der Paste, des spezifischen Kontaktwiderstandes des Metall–Halbleiter–Überganges sowie von IV–Kennlinien wird eine Analyse des Sinterverfahrens vorgestellt.