Dresden 2000 – scientific programme

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HK: Physik der Hadronen und Kerne

HK 13: Postersitzung / Instrumentation und Anwendungen

HK 13.17: Poster

Thursday, March 23, 2000, 10:15–12:45, B 117

Messung von Wasserstoffprofilen mit hochauflösender ERDA — •A. Blažević, H.G. Bohlen, B. Hermann und W. von Oertzen — HMI Berlin

Dünne Schichten unterscheiden sich bezüglich ihrer Struktur und ihren physikalischen Eigenschaften oft von dicken Schichten. Zur besseren Charakterisierung solcher Schichten sind die Hersteller an Tiefenprofilen bzw. an stöchiometrischen Verhältnissen der Konstituenten interessiert. Insbesondere spielt der Wasserstoff eine wichtige Rolle, da er sehr leicht in die Schichten eindiffundiert und ihre physikalischen Eigenschaften beeinflusst. Am ISL des HMI werden solche Schichten mittels der ERD-Methode (elastic recoil detection) analysiert. Mit dem hochauflösenden Magnetspektrographen Q3D können Tiefenprofile und Stöchiometrien sehr dünner Schichten (< 10 nm) mit einer Tiefenauflösung von ca. 1 nm vermessen werden. Die Methode wird am Beispiel einer Vielfachschicht aus Al₂O₃ und C demonstriert. Hierbei konnten die Konzentrationen von Al, O, C und H bestimmt und daraus Tiefenprofile aller Elemente erstellt werden.