Dresden 2000 – wissenschaftliches Programm

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T: Teilchenphysik

T 403: Vertexdetektoren 2

T 403.7: Vortrag

Dienstag, 21. März 2000, 18:00–18:15, H\,03

ATLAS–Pixeldetektor–Module in MCM–D Technologie: Ergebnisse von Messungen an Prototypen — •Chr. Grah, O. Bäsken, K.-H. Becks, J. Drees und P. Gerlach — Fachbereich Physik, Bergische Univ. Wuppertal, Gaußstraße 20, 42097 Wuppertal

Für das ATLAS–Experiment am CERN ist ein Pixel–Vertexdetektor aus über 2000 Modulen geplant. Solche Module bestehen aus 16 Elektronik–Chips zur Auslese und einem Kontrollchip. Ein Modul stellt damit über 60000 Detektorelemente zur Verfügung. Eine Option zum Aufbau dieser Module basiert auf der „Multi Chip Module – Deposited“ (MCM–D) Technologie. Hierbei können auf aktives Silizium bis zu fünf Ebenen von Leiterbahnen aufgetragen werden, die die Verbindungen zu den Elektronik–Chips bereitstellen. Diese Ebenen bestehen aus Kupfer als Leiter und Benzocyclobuten (BCB) als Dielektrikum. In diesem Vortrag sollen verschiedene Ergebnisse der an Prototypen erfolgten Labormessungen präsentiert werden. Die gemessenen Daten für Schwellenverhalten, Rauschen, Übersprechen und Aufnahmen radioaktiver Strahler geben dabei Auskunft über den Einfluß der MCM–D Schichten auf die Leistungsfähigkeit der Elektronik.