Dresden 2000 – scientific programme

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T: Teilchenphysik

T 503: Halbleiterdetektoren 3

T 503.10: Talk

Thursday, March 23, 2000, 12:30–12:45, H\,03

Vergleich der Pixelausleseelektronik in DMILL- und RICMOS IV-SOI-Technologie — •Daniel Quadflieg, W. Karpinski, K. Lübelsmeyer und G. Pierschel — I. Physikalisches Institut RWTH, 52056 Aachen

Die CMS-Pixelkollaboration entwickelt Auslesechips für den Pixeldetektor in zwei unterschiedlichen strahlenharten Technologien, RICMOS IV-SOI und DMILL. Um die Tauglichkeit beider Technologien für die experimentellen Anforderungen zu testen, wurde ein Auslesechip für ein Detektorarray von 22x30 Pixeln entwickelt. Der Chip wurde zuerst in DMILL-Technik hergestellt und dann in RICMOS IV-Technik übertragen. An beiden Varianten wurden vergleichende Messungen durchgeführt, vor und nach Bestrahlung bis zu 30 Mrad. Hinsichtlich der untersuchten elektrischen Eigenschaften zeigte sich dabei die RICMOS IV-Version der DMILL-Variante überlegen. Hinzu kommen die bei RICMOS wesentlich bessere Chipausbeute (80 %) und die höhere Packungsdichte. Der Vortrag stellt die Ergebnisse der Messungen vor.