Regensburg 2000 – scientific programme

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AM: Magnetismus

AM 13: Postersitzung: Dünne Schichten (1–22), Magnetowiderstand (23–40), Phasenübergänge (41–55), Mikromagnetismus (56–68), Spektroskopie (69–77), Nanokristalline Materialien (78–82), Anisotropie (83–86), Schmelzen (87–90), Weitere Bereiche (91–100)

AM 13.81: Poster

Tuesday, March 28, 2000, 16:00–20:00, A

Herstellung und Untersuchung von gesputterten Eisen-Karbid-Schichten — •M. Eichler¹, O. Hupe¹, H. Bremers¹, B. Szyszka² und J. Hesse¹ — ¹Institut für Metallphysik und Nukleare Festkörperphysik TU, 38106 Braunschweig, Mendelssohnstr. 3 — ²Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik Bienroder Weg 54 E, 38108 Braunscheig

Die Herstellung der Schichten erfolgt mit einer CVD Plasmasputteranlage. Mit Hilfe von Argon als Inertgas wird ein Eisentarget gesputtert. Der Argonatmosphäre wird dabei Kohlenstoff in Form von Acetylengas zugesetzt. Dies führt zur Bildung von Eisenkarbiden in einer amorphen Kohlenstoffmatrix auf Glas- und Siliziumsubstraten. Die Charakterisierung der Proben erfolgt durch (Magneto)-Widerstandsmessungen, Mikroanalyse, Mössbauerspektrometrie, Magnetisierungsmessungen und Schichtdickenmessungen. Die Untersuchungen verfolgen das Ziel Proben zu finden, die magnetoresisitive Eigenschaften besitzen.