Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm
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AM: Magnetismus
AM 5: Symposium: Sensorik
AM 5.3: Hauptvortrag
Montag, 27. März 2000, 15:00–15:30, H10
Entwicklung von GMR-Schichtsystemen für Sensoren im KFZ — •M. Freitag, P. Schmollngruber und G. Haas — Robert Bosch GmbH
In vielen modernen Festplatten befindet sich seit kurzem ein GMR-Lesekopf. Der Schritt von der ersten Beobachtung des GMR-Effektes durch Prof. Grünberg (Jülich) bis zur hochentwickelten GMR-Technik hat sich bei den Leseköpfen sehr rasch vollzogen. Bemerkenswert ist dies vor allem deshalb, weil die notwendigen komplexen metallischen Dünnschichtstrukturen große Herausforderungen an die Prozeßsteuerung und Kontrolle darstellen. Auch für das Einsatzfeld Kraftfahrzeug bietet der GMR-Effekt eine Reihe von Funktionsvorteilen. Grundaufgabe der Sensorik ist es hier, Magnetfeldrichtungen (zur Winkelbestimmung) sowie Magnetfeldstärkeänderungen (zur Positionsbestimmung) zu detektieren. Erforderlich dazu sind jedoch GMR-Materialien, die an die rauhe Umgebung im KFZ angepaßt, d.h. genügend robust und weitgehend unempfindlich gegen Verschmutzungs-, Temperatur- und Feuchteeinflüsse sind. Unterschiedliche Ansätze für die Realisierung geeigneter Materialien werden diskutiert.