Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 1: Harte Schichten I (c-BN)

Montag, 27. März 2000, 09:30–10:15, H31

	09:30	DS 1.1	Hauptvortrag: Periodische Anwendung der Abfolge ’Wachstum und ioneninduzierter Stressabbau’: Ein Weg zur Herstellung stabiler, dicker Filme aus kubischem Bornitrid — •P. Ziemann und H.-G. Boyen