Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 12: Sonstiges I

DS 12.2: Fachvortrag

Dienstag, 28. März 2000, 11:00–11:15, H31

Herstellung von Pufferschichten durch epitakische Oxidation — •Cirsten Brandt, J. Hoffmann und H.C. Freyhardt — Universität Göttingen, Institut für Materialphysik, Windausweg 2, 37073 Göttingen

Die Herstellung supraleitender YBCO-Filme auf langen, vortexturierten RABiTS-Bändern erfordert die epitaktische Abscheidung einer Pufferschicht, die die Oxidation bzw. Interdiffusion bei der Film-Herstellung verhindert. Die Abscheidung dieser keramischen Pufferschichten ist in der Regel recht aufwendig, zudem kann die Oxidation nickelhaltiger Bänder durch die hauptsächlich eingesetzten Oxide (YSZ, CeO₂2) nicht vollständig unterdrückt werden. Als alternativer Prozess bietet sich eine gezielte Oxidation der Bänder an, die zu einem epitaktisch aufgewachsenen (100)-orientierten NiO führt. In diesem Beitrag werden Nickel und Nickellegierungen als Substrate verwendet, die mittels RABiTS-Verfahren biaxial texturiert worden sind. Die Oxidation wurde unter verschiedenen Temperaturen und Sauerstoffpartialdrücken durchgeführt. Die Substratoberflächen wurden vorher mit unterschiedlichen Methoden behandelt. Der Einfluss der eben genannten Parameter auf die Textur und die Oberflächen der Oxidschichten wird dargestellt. Des weiteren wird deren Einfluß auf die verschiedenen Epitaxierelationen ausführlich diskutiert.