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DS: Dünne Schichten

DS 14: Schichtcharakterisierung I

DS 14.1: Fachvortrag

Dienstag, 28. März 2000, 16:15–16:30, H31

Blockingspektroskopie mit MeV Ionenstrahlen zur Charakterisierung kristalliner dünner Schichten und zur Lokalisierung von Fremdatomen in Einkristallen — •Hans Hofsäss, Carsten Ronning, Stefano Virdis, Michael Uhrmacher, Felix Harbsmeier, Sankar Dhar und Klaus-Peter Lieb — Zweites Physikalisches Institut, Universität Göttingen

Ionenchanneling ist eine Standardmethode zur Gitterplatzbestimmung von Fremdatomen und zur Untersuchung von Defekten in kristallinen Materialien. Für viele Anwendungen wesentlich effektiver ist aber die Blockingspektroskopie, bei der ein Ionenstrahl in random- Richtung auf die Probe trifft und die Blockingeffekte der an den Probenatomen gestreuten Ionen mit Hilfe energie- und ortsauflösender Detektoren nachgewiesen werden. Dadurch wird die vollständige Emissionsverteilung um verschiedene Kristallachsen erfasst und die Notwendigkeit eines kollimierten Ionenstrahls entfällt. Die Messtechnik ist ähnlich der Emissionschannelingmethode [1] und wurde z.B. kürzlich zur Untersuchung der Channelingeffekte hochenergetischer Ionen angewandt [2]. Wir stellen erste Ergebnisse der Blockingspektroskopie zur Charakterisierung der Textur dünner BN- und Quarzschichten und zur Gitterplatzbestimmung implantierter Fremdatome in Halbleitern vor, die am Göttinger Beschleuniger IONAS mit 900 keV He-Ionen erzielt wurden.

[1] H. Hofsäss, Hyp. Int. 97/98 (1996) 247

[2] W. Assmann et al., Phys. Rev. Lett. 83 (1999) 1759