Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe

DS: Dünne Schichten

DS 15: Plasma- und Ionentechniken I

Dienstag, 28. März 2000, 09:30–10:15, H32

	09:30	DS 15.1	Hauptvortrag: Teilchen- und Energieflüsse bei der Sputter-Deposition: Effekte zur Textur und Nanoporosität dünner Schichten — •T. Drüsedau, T.-M. John, F. Klabunde, M. Löhmann, H.-M. Latuske und J. Bläsing