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DS: Dünne Schichten
DS 1: Harte Schichten I (c-BN)
Monday, March 27, 2000, 09:30–10:15, H31
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09:30 | DS 1.1 | Invited Talk: Periodische Anwendung der Abfolge ’Wachstum und ioneninduzierter Stressabbau’: Ein Weg zur Herstellung stabiler, dicker Filme aus kubischem Bornitrid — •P. Ziemann und H.-G. Boyen |