Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 23: Organische Schichten III

DS 23.4: Fachvortrag

Mittwoch, 29. März 2000, 16:15–16:30, H31

Wechselwirkung von Kohlenwasserstoffradikalen mit a-C:H-Oberflächen — •Matthias Meier, Thomas Schwarz-Selinger und Achim von Keudell — Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, EURATOM Association, Boltzmannstr. 2, D-85748 Garching

Unter Verwendung quantifizierter Radikalteilchenquellen wurde die Wechselwirkung von Kohlenwasserstoffradikalen mit a-C:H-Oberflächen untersucht. Als Diagnostiken standen dabei mit Ellipsometrie und FTIR-Spektroskopie zwei optische In-situ-Echtzeitmethoden zur Verfügung. Durch den Einsatz optischer Kavitäten wurde in der IR-Spektroskopie eine Empfindlichkeit im Monolagenbereich trotz kurzer Meßzeiten (ca. 40 sec) erreicht. In Isotopenaustausch-Experimenten konnte damit der Adsorptionsprozeß von Kohlenwasserstoffradikalen auf a-C:H direkt beobachtet werden.