Regensburg 2000 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 25: Metallische Schichten

DS 25.4: Fachvortrag

Wednesday, March 29, 2000, 14:45–15:00, H32

Elektrische und mikroskopische Untersuchungen von dünnen Titan–Filmen — •K. Hofmann¹, B. Spangenberg¹, M. Luysberg² und H. Kurz¹ — ¹RWTH-Aachen, Institut für Halbleitertechnik II, Sommerfeldstr. 24, 52074 Aachen — ²IFF, Forschungszenrum Jülich, 52425 Jülich

Dünne Titan–Schichten werden unter anderem intensiv auf ihre Eignung für metallische mesoscopische Bauelemente im Tieftemperaturbereich untersucht. Die hier präsentierten Ergebnisse beziehen sich auf die Temperaturabhängigkeit des Widerstandes dünner Titan–Filme, die mit verschiedenen Aufdampfraten mittels Elektronenstrahl–Verdampfer deponiert wurden. Bei den Untersuchungen wurde festgestellt, daß sich mit Reduktion der Meßtemperatur der spezifische Widerstand von langsam aufgewachsenen Ti–Filmen drastisch erhöht, während schnell deponierte Filme die von Metallen erwartete Temperaturabhängigkeit des Widerstandes zeigen. Dieses variierende elektrische Verhalten der Filme konnte anhand von TEM Analysen eindeutig ihren mikroskopischen Eigenschaften zugeordnet werden und wird im Rahmen des Vortrages detailliert erläutert.