Regensburg 2000 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 25: Metallische Schichten

DS 25.6: Fachvortrag

Wednesday, March 29, 2000, 15:15–15:30, H32

Laserdeposition von metallischen Fe-Ag-Legierungen und Cu/Ag-Schichtpaketen bei unterschiedlichen Substrattemperaturen — •Sören Kahl und Hans-Ulrich Krebs — Institut für Materialphysik, Universität Göttingen, Hospitalstr. 3-7, 37073 Göttingen und SFB 345

Nach der Deposition bei Raumtemperatur weisen laserdeponierte metallische Legierungen in entmischenden Systemen eine starke Übersättigung der Randphasen auf, entmischen jedoch im mittleren Konzentrationsbereich. Bei 150 K können dagegen einphasige kristalline Fe-Ag-Legierungen auch in mittleren Konzentrationsbereichen präpariert werden. Die Entmischung der übersättigten Proben während der Auslagerung wurde mit In-situ-Röntgenbeugung untersucht.

Wie sich aus In-situ-Widerstandsmessungen während der Herstellung ablesen läßt, sind laserdeponierte Cu/Ag-Schichtpakete, die thermodynamisch nicht mischend sind, bei Raumtemperatur an den Grenzflächen einige Monolagen durchmischt. Während der Deposition bei Substrattemperaturen oberhalb von 410 K geht die Schichtstruktur verloren; die sich bildende Mikrostruktur und der Wachstumsmodus werden diskutiert.