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DS: Dünne Schichten

DS 29: Ionenimplantation II

Donnerstag, 30. März 2000, 10:15–10:45, H31

	10:15	DS 29.1	Fachvortrag: Modifikationen von SiO2 und Ni/SiO2 durch Bestrahlung mit Xenon — •M. Schwickert, K. P. Lieb, W. Bolse, M. Gustafsson und J. Keinonen
	10:30	DS 29.2	Fachvortrag: Hochdosis Titan Implantation in ionenstrahlsynthetisierte epitaktische Si/SiC/Si Schichtsysteme — •S. Wenzel, J.K.N. Lindner und B. Stritzker