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DS: Dünne Schichten
DS 29: Ionenimplantation II
Thursday, March 30, 2000, 10:15–10:45, H31
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10:15 | DS 29.1 | Fachvortrag: Modifikationen von SiO2 und Ni/SiO2 durch Bestrahlung mit Xenon — •M. Schwickert, K. P. Lieb, W. Bolse, M. Gustafsson und J. Keinonen |
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10:30 | DS 29.2 | Fachvortrag: Hochdosis Titan Implantation in ionenstrahlsynthetisierte epitaktische Si/SiC/Si Schichtsysteme — •S. Wenzel, J.K.N. Lindner und B. Stritzker |