Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 31: Ionenimplantation IV

DS 31.1: Fachvortrag

Donnerstag, 30. März 2000, 14:00–14:15, H31

Durch Ionenbestrahlung induzierte Formänderungen von ungeordneten und geordneten metallischen Nanostrukturen — •M. Denk¹, J. Blässing¹, R. Durner¹, B. Heinz¹, J. Eisenmenger¹, P. Ziemann¹, F. Burmeister², J. Boneberg² und P. Leiderer² — ¹Abteilung Festkörperphysik, Universität Ulm, 89069 Ulm — ²Fakultät für Physik, Universität Konstanz, 78434 Konstanz

Die physikalischen Eigenschaften makroskopischer ausgedehnter Metallfilme lassen sich durch Ionenbestrahlung oder -implantation in vielfacher Weise gezielt beeinflussen. Um zu testen, ob diese Technik auch auf Nanostrukturen anwendbar bleibt, wurden ungeordnete und geordnete laterale Muster auf der Nanoskala durch Aufdampfen ultradünner (1-30 nm) AuIn₂-Filme unterhalb ihrer Perkolationsgrenze oder durch geordnete Kolloidmasken präpariert und mit leichten (He⁺) bzw. schweren (Ar⁺) Ionen bei 90 K und 300 K bestrahlt. Aus AFM Untersuchungen vor und nach der Ionenbestrahlung lassen sich die induzierten Formänderungen eindeutig ableiten. Im konkreten Fall ungeordneter eng benachbarter AuIn₂-Nanostrukturen beobachtet man stets ein ioneninduziertes Wachstum der Strukturen, welches bei 300 K und bei schweren Ionen am ausgeprägtesten ist. In den ausgedehnteren geordneten Nanostrukturen findet man überraschenderweise ein Wachstum zusätzlicher hochsymmetrischer Nanoinseln.