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DS: Dünne Schichten

DS 33: Schichtcharakterisierung II

DS 33.2: Fachvortrag

Donnerstag, 30. März 2000, 09:45–10:00, H32

Messung thermischer Tiefenprofile an PVD/CVD Beschichtungen — •I. Delgadillo-Holtfort^1,2, U. Hinzpeter³, B.K. Bein¹ und J. Pelzl¹ — ¹Ruhr-Universität Bochum, Festkörper-Spektroskopie, D-44780 Bochum — ²* CINVESTAV-IPN, Dept. Física, 07000 México D.F. — ³Kunststoff-Institut Lüdenscheid, D-58507 Lüdenscheid

Mittels PVD/CVD-Beschichtung gezielt aufgebrachte thermische Tiefenprofile von Spritzgussformen sind von grosser Bedeutung bei der Optimierung des Abkühlprozesses im Spritzgussverfahren. Thermische Wellen, erzeugt durch Absorption eines modulierten Laser-Strahls im Sichtbaren und mit einem IR-Detektor gemessen, werden hier als kontaktlose zerstörungsfreie Methode angewandt, um die thermischen Eigenschaften von PVD/CVD Schichten auf Stahlsubstraten zu untersuchen. Die Messwerte für unterschiedlich beschichtete Proben werden mit Hilfe von Referenzsignalen von Glaskohlenstoff und einer unbeschichteten Stahlprobe analysiert und mit Hilfe eines 2-Schichten-Modells quantitativ interpretiert. Das Verfahren ermöglicht die Bestimmung der Wärmediffusionszeit der Beschichtung und des Quotienten der Wärmeeindringkoeffizienten von Schicht und Substrat. Diese beiden Parameter haben direkten Einfluss auf den Abkühlprozess im Spritzgussverfahren.