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DS: Dünne Schichten

DS 34: Mechanische Eigenschaften

Donnerstag, 30. März 2000, 11:15–12:00, H32

	11:15	DS 34.1	Fachvortrag: Untersuchung der mechanischen Eigenschaften freistehender polykristalliner CVD-Diamantschichten durch lasergenerierte akustische Oberflächenwellen — •C.M. Flannery, M.D. Whitfield, and R.B. Jackman
	11:30	DS 34.2	Fachvortrag: Raman-spektroskopische Untersuchung des Spannungszustandes in Silizium-Substraten in der Nähe von Pt/PZT-Mikrostrukturen — •Rhena Krawietz, Wolfgang Pompe und Valter Sergo
	11:45	DS 34.3	Fachvortrag: Spannungsrelaxation in a-Si durch Ionenbeschuß — •Monika Koster und Herbert M. Urbassek