DS 36: Harte Schichten V
Thursday, March 30, 2000, 15:45–17:00, H32
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15:45 |
DS 36.1 |
Fachvortrag:
Vermessung von Reichweiten und Mixingzonen bei der Deposition von tetraedisch amorphem Kohlenstoff (ta–C) — •P. Neumaier, A. Bergmaier, G. Dollinger, I. Genchev, L. Görgens, H. Feldermann, C. Ronning und H. Hofsäss
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16:00 |
DS 36.2 |
Fachvortrag:
Eigenschaften von ionenstrahldeponierten ta-C:F Schichten — •C. Ronning, H. Feldermann, M. Büttner, O. Wondratschek, U. Vetter, F. Harbsmeier, H. Hofsäss und R. Merk
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16:15 |
DS 36.3 |
Fachvortrag:
Die Eigenschaften von Aluminiumnitrid hergestellt mittels HF-Magnetronsputtern — •T. Drüsedau, K. Koppenhagen und J. Bläsing
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16:30 |
DS 36.4 |
Fachvortrag:
Struktur und Spannung von TiN– und CrN–Schichten vor und nach thermischer Behandlung — •G. Gülaydin, P. Kringhøj, J. Bøttiger und K. Rätzke
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16:45 |
DS 36.5 |
Fachvortrag:
Nanohaerte, Bindungsstruktur und Feldemission von CSixNy-, CBxNy-, CNx- und DLC-Duennfilmen abgeschieden durch N-plasmagestuetzte PLD — •Thomas Thaerigen und Michael Lorenz
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