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DS: Dünne Schichten

DS 38: Postersitzung

DS 38.13: Poster

Tuesday, March 28, 2000, 09:30–17:30, Poster B

UHV-PLD-Apparatur zur Herstellung metallischer Multischichten — •Michael Krieger, Gunther Lengl, Alfred Plettl und Paul Ziemann — Abt. Festkoerperphysik, Universitaet Ulm, D-89069 Ulm

Ein experimenteller Aufbau zur Herstellung von metallischen Multilagenfilmen mittels Laserablation wird vorgestellt. Die Strahlung eines 193 nm-Excimerlasers (≤400 mJ bei 1-10 Hz) wird mit einer Fleckgroesse von ≤1 mm auf eines von vier waehlbaren, scheibenfoermigen Targets fokussiert, das Substrat steht in variablem Abstand davor. Um moeglichst troepfchenarme Metallschichten zu erzielen, werden mehrere Massnahmen zugleich angewandt: das beschossene Target wird rotiert und gemaess einer Wurzelfunktion oszilliert; eine relevante Aufrauhung bleibt deshalb aus. Zusaetzlich kann die Energiedichte am Target mit Hilfe eines variablen Abschwaechers an das jeweilige Material angepasst werden. Zur weiteren Optimierung laesst sich der Abstand Target-Substrat bis zu grossen Werten(30-110 mm)variieren. Die UHV-Kammer besitzt zwei Schleusen; eine zum zum Einbringen der Targets und des Substrats und eine zweite zum Einsetzen eines waehrend des Filmwachsens verschiebbaren Innenfensters zum Schutz des Einkoppelfensters. Die Plume und damit das Schichtwachstum kann durch einschwenkbare Masken und Deflektoren, sowie durch eingelassene Hintergrundgase beeinflusst werden. Fuer die ersten Funktiontests wurden auf Glas Cu- und Co-Schichten aufgewachsen.