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DS: Dünne Schichten

DS 38: Postersitzung

DS 38.22: Poster

Dienstag, 28. März 2000, 09:30–17:30, Poster B

Tiefenaufgelöste Stressmessungen an c-BN Schichten — •Andreas Klett, Regine Freudenstein, M.F. Plass und Wilhelm Kulisch — Techn. Physik, Uni GH-Kassel, 34109 Kassel

Dünne c-BN Schichten wurden auf Cantilever-Substrate abgeschieden und sukzessive zurückgeätzt. Nach jedem Ätzschritt wurden der Stress und die Dicke der Schicht sowie ein Infrarotspektrum gemessen. Das daraus bestimmte Stressprofil läßt sich in drei Zonen einteilen. Zuerst entsteht eine nicht-kubische Nukleationsschicht mit einem konstanten Stresswert. Anschließend bildet sich eine Übergangszone aus, in der der Stress linear ansteigt, bis er schliesslich einen Wert erreicht, der charakteristisch für die obere c-BN-Schicht ist. Diese Lagenstruktur wird durch die Entwicklung der Infrarotspektren bestätigt. Mit Hilfe dieser Spektren ist es möglich den nicht-kubischen Anteil im c-BN Toplayer zu bestimmen. Durch Variation der Depositionsparameter fanden wir einen linearen Zusammenhang zwischen diesem nicht-kubischen Anteil in der c-BN-Schicht und dem zugehörigen Stresswert.