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DS: Dünne Schichten
DS 38: Postersitzung
DS 38.29: Poster
Tuesday, March 28, 2000, 09:30–17:30, Poster B
Laserdeposition von Nd2Fe14B - Filmen — •U. Hannemann, S. Fähler und L. Schultz — IFW Dresden, SFB 463, Institut für Metallische Werkstoffe, Helmholtzstr. 20, 01069 Dresden
In einigen Jahren wird bei konventionellen Materialien mit dem
superparamagnetischen Limit eine Grenze für die Speicherdichte von
Magnetspeichern erreicht. Zur weiteren Erhöhung der Speicherdichte
benötigt man Materialien mit einer deutlich höheren
Koerzitivfeldstärke, wie z.B. Nd2Fe14B. Für
die Untersuchung der anisotropen magnetischen Eigenschaften
von Nd2Fe14B eignen sich im besonderen texturierte Filme.
Mit dem Verfahren der gepulsten Laserdeposition wurden unter Verwendung
von Reinelement- und Legierungstargets Nd2Fe14B-Filme
hergestellt. Untersucht wurden die Einflüsse verschiedener
Depositionsparameter (u.a. Substrat, Temperatur, Laserenergie).
Präsentiert werden erste Ergebnisse von strukturellen,
mikrostrukturellen und magnetischen Untersuchungen. Diese werden
verglichen mit den Messungen an gesputterten Filmen.