Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 38: Postersitzung

DS 38.33: Poster

Dienstag, 28. März 2000, 09:30–17:30, Poster B

Strukturuntersuchung von Gradientenmultilayern mittels Roentgenstreuung — •Folko Weber¹, Jochim Stettner¹, Metin Tolan¹, Werner Press¹ und Carsten Michaelsen² — ¹AG Press, IEAP an der Uni Kiel, Leibnizstr. 19, 24098 Kiel — ²GKSS Geestacht

Gradientenmultilayer werden heutzutage als parallelisierende Monochromatoren fuer Laborroentgenquellen eingesetzt. Sie bestehen aus ca. 100 Doppellagen W/Si oder Ni/C, die lateral mit einem Schichtdickengradienten versehen wurden. In unserer Arbeit werden Roentgenstreuuntersuchungen an solchen Multilayern vorgestellt. Es zeigt sich, dass unterschiedliche Praeparationsparameter z.T. drastisch unterschiedliche Schichtqualitaeten zur Folge haben. Insbesondere die sog. korrelierte oder konforme Rauhigkeit der Schichten stellt ein fast unvermeidbares Problem bei der Herstellung sehr duenner Schichten dar. Diese konforme Rauhigkeit kann mittels Roentgenbeugungsuntersuchungen detektiert und sehr detailliert mit Modellen zur Rauhigkeitsentwicklung an Grenzflaechen verglichen werden.