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DS: Dünne Schichten

DS 38: Postersitzung

DS 38.36: Poster

Dienstag, 28. März 2000, 09:30–17:30, Poster B

Untersuchung der Edelmetalldiffusion in Polymeren mittels XPS — •J. Erichsen, V. Zaporojtchenko, T. Strunskus und F. Faupel — Technische Fakultät der Christian–Albrechts–Universität zu Kiel, Lehrstuhl für Materialverbunde, Kaiserstraße 2, 24143 Kiel

Polymere finden als low-k Dielektrika zunehmend Verwendung in der Mikroelektronik. Dadurch motiviert sich ein besonderes Interesse an den Grenzflächen zwischen Metall und dem Polymer. Insbesondere ist ein genaues Verstehen der Diffusionsprozesse der Metalle ins Polymer notwendig. Hierzu wurden an dem Polyimid PMDA-ODA und anderen low-k Polymeren mit den beiden Edelmetallen Silber und Kupfer Untersuchungen vorgenommen. Die Metalle wurden bei variierenden Temperaturen aufgedampft, um unterschiedliche Oberflächenmorphologien zu erhalten. Diese Proben wurden unterschiedlich lange temperiert. Die Diffusionsprofile wurden mittels XPS und der Schichtenteilung durch Sputtern gemessen. Dabei ergaben sich gute Übereinstimmungen mit Radio-Tracer Messungen.