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DS: Dünne Schichten
DS 38: Postersitzung
DS 38.50: Poster
Dienstag, 28. März 2000, 09:30–17:30, Poster B
Spekuläre und diffuse Röntgenreflektivität zur Untersuchung dünner BST-Filme auf SrTiO3:Nb — •Markus Aspelmeyer1, Uwe Klemradt1, Jianhua Hao2 und Xiaoxing Xi2 — 1Sektion Physik und Center for Nano Science (CeNS), LMU München, Geschw.-Scholl-Pl.1, D-80539 München — 2Pennsylvania State University, Physics Dpt., 104 Davey Lab., University Park, PA 16802-6300, USA
Die Grenzflächenqualität zum Substrat ist ein limitierender Faktor für die technologische Anwendung ferroelektrischer Filme beispielsweise als Aktuatoren oder in Speichermedien. Wir zeigen Untersuchungen an einkristallinen Ba0.5Sr0.5TiO3 (BST)-Filmen auf (0.5Gew.%)Nb-dotierten SrTiO3-Oberflächen mit (100)-Orientierung. Für Schichtdicken von 20nm, 50nm und 100nm wurden Röntgenmessungen unter streifenden Winkeln bei den Temperaturen 250K, 300K und 350K durchgeführt. Die hervorragende Probenqualität ermöglichte eine quantitative Bestimmung der Realstruktur der Probe hinsichtlich Grenzflächenrauhigkeiten, Schichtdicke und elektronischer Dichte. Ausserdem weisen unsere Messungen auf stark korrelierte Grenzflächen in der paraelektrischen Phase der BST-Filme hin, die bei Annäherung an die ferroelektrische Phase modifiziert werden.