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Regensburg 2000 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 38: Postersitzung

DS 38.5: Poster

Tuesday, March 28, 2000, 09:30–17:30, Poster B

IBAD-YSZ-Pufferschichten auf großen Flächen und Bändern — •S. Sievers, J. Dzick, J. Hoffmann und H.C. Freyhardt — Universität Göttingen, Institut für Materialphysik, Windausweg 2, 37073 Göttingen

Biaxial texturierte IBAD-YSZ-Schichten stellen einen geeigneten Puffer für die HTSL-Beschichtung technischer Substrate (Metallbänder, PSZ, ... ) dar. Die bei uns zur Pufferdeposition eingesetzten Sputteranlagen haben Beschichtungsfenster von 6× 13 cm2 bzw. 17× 17 cm2, in denen in-plane Texturen mit Halbwertsbreiten ≤ 25 erreicht werden. Für die Beschichtung größerer Flächen und Bänder muss das Substrat bewegt werden. Dies führt für einen gegebenen Oberflächenbereich zu einer zeitlichen Variation der Depositionsparameter beim Durchlaufen der unterschiedlichen Bereiche des Beschichtungsfensters. Die Bedeutung der Depositionsbedingungen bei der Bildung der Keimschicht und in der anschließenden Phase des Filmwachstums auf die erreichbare Textur wird dargestellt. Zusätzlich führt bei bewegten Substraten die schlechtere thermische Ankopplung an das Trägersystem durch den Energieeintrag des texturierenden Ionenstrahls und des aufwachsenden Materials zu einer Erwärmung im Verlauf der Beschichtung. Das Ausmaß der Erwärmung und ihr Einfluss auf die Ausbildung einer Textur im Verlauf des Schichtwachstums wurde untersucht. Für eine Homogenisierung der Filmeigenschaften erfolgt die Substratbewegung idealerweise periodisch unter dem Beschichtungsfenster. Der Einfluß periodischer Variationen der Beschichtungsparameter auf die Texturausbildung wurde analysiert.
Diese Arbeit wurde teilweise unterstützt von Alcatel und von Siemens.

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