Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 38: Postersitzung

DS 38.6: Poster

Dienstag, 28. März 2000, 09:30–17:30, Poster B

Simulation der Ostwald–Reifung in implantierten Systemen — •T. Pohl, C. Hammerl und B. Rauschenbach — Universität Augsburg, Institut für Physik, 86159 Augsburg

Der Prozeß der Ionenimplantation untergliedert sich in zeitlich aufeinanderfolgende Stadien der anfänglichen Festkörperlösung, dann der Übersättigung und schließlich der Verbindungsbildung in Form von Präzipitaten. Bei einer anschließenden thermischen Nachbehandlung setzt die Ostwald–Reifung ein und läßt die größeren Präzipitate auf Kosten der kleineren weiter anwachsen bis hin zur Koaleszenz. Mit diesem Verfahren ist es möglich, dünne vergrabene Schichten in einer Matrix auszubilden.
Dieser Beitrag beschäftigt sich ausschließlich mit der Simulation der Ostwald–Reifung. Im Gegensatz zu früheren Arbeiten auf diesem Gebiet, die einen Mean–Field–Ansatz für die zur Reifung zur Verfügung stehenden Teilchen verwenden, wurde in diesem Beitrag ein Mehrgitter–Algorithmus entwickelt, der durch die Lösung der Diffusionsgleichung den Materialtransport berücksichtigt. Die Beschreibung der Größenänderung der Präzipitate erfolgt durch die Gibbs–Thomson–Gleichung. Es wurden Simulationen mit unterschiedlichen Anfangsverteilungen und Temperaturen durchgeführt. Die erhaltenen Ergebnisse wurden mit experimentellen Daten aus Kleinwinkelstreuexperimenten verglichen.