Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm
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DS: Dünne Schichten
DS 38: Postersitzung
DS 38.6: Poster
Dienstag, 28. März 2000, 09:30–17:30, Poster B
Simulation der Ostwald–Reifung in implantierten Systemen — •T. Pohl, C. Hammerl und B. Rauschenbach — Universität Augsburg, Institut für Physik, 86159 Augsburg
Der Prozeß der Ionenimplantation untergliedert sich in zeitlich
aufeinanderfolgende Stadien der anfänglichen Festkörperlösung, dann der
Übersättigung und schließlich der Verbindungsbildung in Form von
Präzipitaten. Bei einer anschließenden thermischen Nachbehandlung setzt die
Ostwald–Reifung ein und läßt die größeren Präzipitate auf Kosten der
kleineren weiter anwachsen bis hin zur Koaleszenz. Mit diesem Verfahren ist es
möglich, dünne vergrabene Schichten in einer Matrix auszubilden.
Dieser Beitrag beschäftigt sich ausschließlich mit der Simulation der
Ostwald–Reifung. Im Gegensatz zu früheren Arbeiten auf diesem Gebiet, die
einen Mean–Field–Ansatz für die zur Reifung zur Verfügung stehenden Teilchen
verwenden, wurde in diesem Beitrag ein Mehrgitter–Algorithmus entwickelt, der
durch die Lösung der Diffusionsgleichung den Materialtransport berücksichtigt.
Die Beschreibung der Größenänderung der Präzipitate erfolgt durch die
Gibbs–Thomson–Gleichung. Es wurden Simulationen mit unterschiedlichen
Anfangsverteilungen und Temperaturen durchgeführt. Die erhaltenen Ergebnisse
wurden mit experimentellen Daten aus Kleinwinkelstreuexperimenten verglichen.