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Regensburg 2000 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 38: Postersitzung

DS 38.8: Poster

Tuesday, March 28, 2000, 09:30–17:30, Poster B

XPS-Untersuchungen an durch DC-Magnetronsputtern abgeschiedenen ITO-Schichten — •Tin Maung Tun, Hartmut Steffen, Harm Wulff, Marion Quaas und Rainer Hippler — Inst. f. Physik, UNI Greifswald, Greifswald

Dünne ITO-Schichten wurden durch DC-Magnetronsputtern von einem In/Sn(9:1)-Target in Ar/O2 abgeschieden. O2-Fluss und externe Substratspannung wurden variiert. Entladungsleistung, Ar-Fluss und Prozessdruck wurden konstant gehalten. Die abgeschiedenen Schichten wurden unter UHV-Bedingungen in ein Oberflächenanalysesystem transportiert und mittels XPS hinsichtlich Elementzusammensetzung und chemischen Bindungen untersucht.
Mit steigendem O2-Fluss nimmt der Sauerstoffanteil in den Schichten zu. Stöchiometrische Schichten wurden jedoch nur vom oxidierten Target abgeschieden. Der Sauerstoffeinbau in die Schichten nimmt mit steigender externer Substratspannung ab. Dieses Verhalten wird auf ein verstärktes Resputtern von Sauerstoff zurückgeführt und durch eine Bilanzgleichung beschrieben.

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