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DS: Dünne Schichten

DS 4: Laserverfahren I

DS 4.1: Hauptvortrag

Montag, 27. März 2000, 14:00–14:45, H31

Lasergestützte Erzeugung von Schichten — •Günter Reiße und Steffen Weißmantel — Hochschule Mittweida, Technikumplatz 17, 09648 Mittweida

Ausgehend von den laserinduzierten Elementarprozessen wird eine Übersicht über die Möglichkeiten des Lasereinsatzes für die Erzeugung dünner Schichten gegeben. Schwerpunktmäßig werden die Laser-PVD- und Laser-CVD-Verfahren einschließlich der Verfahrensvarianten mit zusätzlicher Ionenstrahl-, Plasma- oder Photoneneinwirkung behandelt. Darüberhinaus werden die Verfahren der lasergalvanischen Schichtabscheidung, der Laseroxydation und -nitrierung sowie der Laserpolymerisation vorgestellt. Weitere Einsatzmöglichkeiten des Lasers zur Schichterzeugung sind die Laserrekristallisation von Schichten, die lasergestützte Legierungs- und Verbindungsbildung sowie die laserinduzierte Amorphisierung. Die physikalischen Verfahrensgrundlagen und die spezifischen Schichteigenschaften werden anhand von Beispielen erläutert. In einem abschließenden Ausblick wird der Einsatz des Lasers für die Erzeugung von nanostrukturierten Schichten diskutiert.