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DS: Dünne Schichten

DS 9: In-situ-Charakterisierung I

DS 9.1: Fachvortrag

Montag, 27. März 2000, 09:30–09:45, H32

Teilchenflüsse unterschiedlicher Lichtbogenquellen — •J. Schuhmann^1,2 und V. Buck¹ — ¹AG-Dünnschichttechnologie, Fb Physik, Universität Essen, 45117 Essen — ²Fritz Borsi KG, Am Ziegelplatz 11, D-77746 Schutterwald

Für die Erzeugung spezifischer Schichtqualitäten haben sich insbesondere Plasmaverfahren wie Kathodenzerstäubung oder Vakuumlichtbögen bewährt. Die Überführung der Metalle in ionisierte Dämpfe hat gegenüber einer thermischen Verdampfung den Vorteil, daß z.B. durch Anlegen äußerer Felder die Teilchenenergie verändert werden kann. Die grundlegenden Eigenschaften der Teilchenflüsse werden im wesentlichen durch die Quelle, deren Form und Betriebsmodus bestimmt.
Auf Grundlage des Anodischen Vakuumbogens wurde untersucht, wie sich die Teilchenflüsse durch kombinierte Anordnung von Lichtbögen und thermischer Verdampfung verändern. Die Teilchenenergien wurden mit Hilfe eines energiedispersiven Massenspektrometers (Hiden EQP 300) untersucht. Der Ionenfluß wurde mit einer ebenen Sonde gemessen und der Massenfluß mit einem Schwingquarzoszillator. Aus dem Verhältnis beider wurde die Flußionisation bestimmt.
Um den Einfluß der gemessenen Größen auf Schichteigenschaften darzustellen, wurden die auf ein Polymer abgeschieden Metallschichten auf ihre Haftfestigkeit untersucht.