Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 9: In-situ-Charakterisierung I

DS 9.2: Fachvortrag

Montag, 27. März 2000, 09:45–10:00, H32

Untersuchung von Energieverteilungen von Atomen und Molekülen bei der Zerstäubung von oxidierten Metalloberflächen mit Hilfe von resonanter Lasernachionisation — •Andreas Goehlich — Institut f. Laser-u.Plasmaphysik, Universität GH Essen, Universitätstr. 2-5, 45117 Essen

Das Zerstäubungsverhalten von Oxiden ist für viele technische Anwendungen von Interesse. Aus den Energieverteilungen der bei der physikalischen Zerstäubung entstehenden Atome kann z.B. der Wert der Oberflächenbindungsenergie entnommen werden, der als ein wichtiger Parameter für Simulationsprogramme wie TRIM.SP benötigt wird. Wir berichten in diesem Beitrag über ein Flugzeitexperiment zur Bestimmung von Energieverteilungen abgestäubter Atome und Moleküle. Oxidierte Metallfolien werden mit einem gepulsten, massenseparierten Ionenstrahl (6 keV Argon) beschossen, die abgestäubten Neutralteilchen werden hinter einer definierten Driftstrecke durch einen Laserpuls nachionisiert und in ein Flugzeitmassenspektrometer eingeschossen. Als Zerstäubungsprodukte wurden neben Metallatomen und Metalloxidmolekülen insbesondere auch der atomare Sauerstoff durch Zwei-Photonen resonante Ionisation nachgewiesen. Neben den Energieverteilungen der Atomen im Grundzustand wurden auch Verteilungen von metastabilen, angeregten Atome und Moleküle gemessen.