Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 9: In-situ-Charakterisierung I

Montag, 27. März 2000, 09:30–10:45, H32

	09:30	DS 9.1	Fachvortrag: Teilchenflüsse unterschiedlicher Lichtbogenquellen — •J. Schuhmann und V. Buck
	09:45	DS 9.2	Fachvortrag: Untersuchung von Energieverteilungen von Atomen und Molekülen bei der Zerstäubung von oxidierten Metalloberflächen mit Hilfe von resonanter Lasernachionisation — •Andreas Goehlich
	10:00	DS 9.3	Fachvortrag: In-situ–Bestimmung der H–Konzentration bei der Heißfilament–CVD von Diamant — •B. Heimann und V. Buck
	10:15	DS 9.4	Fachvortrag: Reflektionsunterstuetzte Pyrometrie zur Optimierung der Regelung an einer SiGe-MBE-Anlage — •Georg Eifler, Oehme Michael und Bauer Matthias
	10:30	DS 9.5	Fachvortrag: In-situ-Schichtdicken- und Prozesstemperaturmessung mittels Reflektionsunterstuetzter Pyrometrischer Interferometrie — •M. Bauer, M. Oehme und G. Eifler