Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 12: Poster I: Quanten Hall Effekt (1-9), II-VI Halbleiter (10-17), Epitaxie (18-23), Quantenpunkte und -dr
ähte (24-50), Photonik (51-59), Metall-Isolator Übergang (60-64), Si/Ge (65-67), Elektronentheorie (68-69), Amorphe Halbleiter, Ionen-Implantation

HL 12.35: Poster

Montag, 27. März 2000, 14:00–19:00, A

Herstellung von Halbleiter-Quantenpunkten mittels selbstorganisierender Polymermasken — •Stephan Miller¹, Michael Haupt¹, Karl Bitzer¹, Klaus Thonke¹, Rolf Sauer¹, Joachim Spatz², Christoph Hartmann² und Martin Möller² — ¹Abt. HL-Physik, Uni-Ulm, 89069 Ulm — ²Abt. Organische Chemie III, Uni-Ulm, 89069 Ulm

Selbstorganisierende Polymermasken können auf vorstrukturierten

Halbleitern als nanolithographische Maske in einem Ätzprozess

verwendet werden. Dazu werden kleine Gold- und Nickelkolloide

größenkontrolliert in Blockcopolymermizellen erzeugt. Durch

Abscheidung eines monomizellaren Films auf

Halbleiterquantenfilmen und anschließende Abtragung der

organischen Komponenten in einem Plasmaprozess bleiben

quasi-hexagonal geordnete Metallcluster auf der Oberfläche

zurück. Durch diese Technik können makroskopische

Substratflächen mit 20 nm großen Clustern mit einem

mittleren Abstand einstellbar von 20 nm bis 120 nm dekoriert

werden.
Reaktives Ionenstrahlätzen erlaubt den anisotropen

Strukturübertrag dieser Metallcluster in einen Quantenfilm

zur Erzeugung von Quantenpunkten. Durch Photolumineszenzmessungen

können die Quantisierungseigenschaften der geätzten Punkte