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HL: Halbleiterphysik

HL 12: Poster I: Quanten Hall Effekt (1-9), II-VI Halbleiter (10-17), Epitaxie (18-23), Quantenpunkte und -dr
ähte (24-50), Photonik (51-59), Metall-Isolator Übergang (60-64), Si/Ge (65-67), Elektronentheorie (68-69), Amorphe Halbleiter, Ionen-Implantation

HL 12.51: Poster

Montag, 27. März 2000, 14:00–19:00, A

2D-Photonische Kristalle mit einer Bandlücke von 1,5µm — •J. Schilling, A. Birner, F. Müller, R. Wehrspohn und U. Gösele — MPI für Mikrostrukturphysik, Weinberg 2, 06120 Halle

Photonische Kristalle aus makroporösem Silizium wurden mit Hilfe eines elektrochemischen Ätzprozesses hergestellt. Aufgrund der periodischen Variation des Brechungsindexes zwischen Poren (Luft) und Porenwänden (Si) stellt diese Struktur einen 2 dimensionalen Photonischen Kristall mit einer vollständigen photonischen Bandlücke dar.

Ein bedeutendes Ziel ist es nun, Strukturen mit einem Porenabstand von 0,5µm und Bandlücken um λ=1,5µm zu produzieren, damit Photonische Kristalle im Bereich der Telekommunikation eingesetzt werden können.

Uns ist es gelungen, solche 2D-Photonischen Kristalle mit einem Porenabstand von 0,5µm auf der Basis von makroporösem Silizium herzustellen. Es werden rasterelektronenmikroskopische Aufnahmen dieser Strukturen und erste Resultate zu deren Charakterisierung gezeigt.

Der Inhalt des Posters steht in engem Zusammenhang mit dem Symposium „Photonische Kristalle “und zu dem in diesem Rahmen stattfindenden Vortrag von Dr. Frank Müller.