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Regensburg 2000 – scientific programme

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HL: Halbleiterphysik

HL 15: Photovoltaik I

HL 15.5: Talk

Tuesday, March 28, 2000, 10:30–10:45, H14

Mikrokristalline Silizium-Germanium Solarzellen — •M. Krause, E. Bunte, H. Stiebig, R. Carius und H. Wagner — Forschungszentrum Jülich GmbH, D-52425 Jülich

Die optische Absorption von µc-Si1−xGex:H steigt mit zunehmendem Germaniumgehalt im nahen Infraroten an. Dies eröffnet Perspektiven einer Nutzung dieses Materials als Absorber in Dünnschichtsolarzellen mit Tandem- oder Tripelstruktur.
Es wurden µc-Si1−xGex:H pin-Dioden in einem VHF-PECVD Prozess bei 210C und 95MHz mit den Prozessgasen Si2H6 bzw. SiH4 und GeH4 hergestellt, die bis zu 1:320 in H2 verdünnt wurden. Die realisierten Dioden besitzen eine 200nm dicke Absorberschicht mit einem Germaniumgehalt bis zu 60%. Mit zunehmender Germaniumkonzentration nimmt die Bandlücke ab und die offene Klemmenspannung sinkt. Nachteilig auf den Wirkungsgrad wirkt sich die grössere Defektdichte mit steigendem Germaniumgehalt aus. Da die Solarzellenparameter (Voc,FF) sehr sensitiv hinsichtlich des Bandlückenverlaufs am p/i und i/n Interface sind, wird dessen Einfluss diskutiert und eine Zelloptimierung vorgestellt. Die hohe Stromausbeute von über 25mA/cm2 unter AM1.5 sowie eine Quanteneffizienz von 11% bei λ=1µm für eine optimierte pin-Diode mit 50% Germaniumgehalt zeigen das Potential dieses Materials für die Solarzellenanwendungen auf.

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