Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 18: Halbleiterlaser

HL 18.2: Vortrag

Dienstag, 28. März 2000, 15:15–15:30, H14

‚Rote ‘vertikalemittierende Laserdioden — •Dieter Graef, Rainer Butendeich, Jochen Schwarz, Tabita Ballmann, Heinz Schweizer und Ferdinand Scholz — 4. Physikalisches Institut, Universität Stuttgart, Pfaffenwaldring 57, 70550 Stuttgart

In den letzten Jahren haben sich neben den herkömmlichen Kantenemittern zusehends Laserdioden mit vertikalem Resonator etabliert. In den VCSEL (vertical cavity surface emitting laser) werden die notwendigen Spiegel hoher Reflektivität epitaktisch in Form von Bragg-Reflektoren realisiert. Aufgrund dieser eingebauten Spiegel kann man bei der Prozessierung gezielt radialsymmetrische Bauteile herstellen, die eine zirkulare Strahlgeometrie mit geringer Divergenz aufweisen und sich somit ideal für hocheffiziente Einkopplung, ohne zusätzliche Optik, in Fasern eignen. Durch steigenden Einsatz von Platikfasern (Absorptionsminimum bei 650nm) für optische Datenübertragung ist die Herstellung von ‚roten ‘VCSEL sehr stark motiviert worden.

In diesem Vortrag werden Ergebnisse mittels MOVPE hergestellter VCSEL vorgestellt. Im Mittelpunkt steht der Aufbau der Vertikalstruktur und speziell die Spiegeldimensionierung. Zwar führt eine Erhöhung der Spiegelpaare zu einer Vergrößerung der Reflektivität, aber gleichzeitig steigt der Serienwiderstand des Bauteils stark an, da die Spiegel auch der Stromführung dienen. Deshalb haben wir die Anzahl der Spiegelpaare hinsichtlich Resonatorgüte und Serienwiderstand optimiert. Resonatorgüte und damit Qualität der epitaktischen Spiegelschichten kann mittels spontaner Emissionsspektroskopie bestimmt werden. Eine entsprechende Meßmethode am Bauelement wird vorgestellt.