Regensburg 2000 – scientific programme

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M: Metallphysik

M 10: Nanokristalle

M 10.4: Talk

Wednesday, March 29, 2000, 15:15–15:30, H6

Nanokristalline Schichten mit Porositaets- und Konzentrationsgradienten durch Chemical Vapor Synthesis — •Stefan Seifried, Markus Winterer und Horst Hahn — FG Duenne Schichten, FB Materialwissenschaft, TU Darmstadt, Petersenstr. 23, 64287 Darmstadt

Im den keramischen Systemen Siliziumdioxid (SiO2) und Titandioxid (TiO2) ist es mit einer modifizierten Chemical Vapor Deposition Methode, der Chemical Vapor Synthesis (CVS), gelungen, nanokristalline Schichten mit Korngroessen unter 30 nm herzustellen. Diese Schichten besitzen im Gegensatz zu anderen Beschichtungsverfahren eine granulare Mikrostruktur. Es sind Schichtdicken bis 180 Mikrometer auf verschiedenen Substraten abgeschieden worden. Durch die Variation verschiedener Prozessparameter ist es moeglich, die Schichteigenschaften zu beeinflussen. Es koennen eindimensionale Gradienten in der Porositaet (TiO2) und der Konzentration (Si-O-Ti) synthetisiert werden. Der Einfluss der Prozessparameter, wie Precursorpartialdruck, Temperatur und Reaktorposition auf Mikro- / Kristallstruktur und Schichtwachstumsrate wird untersucht.