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M: Metallphysik

M 2: Innere Grenzflächen

M 2.1: Talk

Monday, March 27, 2000, 10:15–10:30, H6

Mechanische Spektroskopie dünner Kupferschichten — •Manfred Weller, Joachim Kohl, Oliver Kraft und Eduard Arzt — Max-Planck-Institut für Metallforschung, Seestrasse 92, 70174 Stuttgart

Innere Reibung und Elastizitätsmodul dünner Cu-Schichten (0.5 µm - 4 µm) auf 500 µm Si wurden im Temperaturbereich von 300 K - 800 K bestimmt. Eine neu entwickelte Apparatur erlaubt die Anregung von Biegeschwingungen (2 kHz) mit freier Probenauflage in den Schwingungsknoten. Die Dämpfungsspektren zeigen ein Maximum um 600 K, das mit der Filmdicke variiert. Das Maximum wird einem Versetzungs-Relaxationsprozess zugeordnet. Die daraus abgeleiteten Versetzungsdichten liegen im Bereich von 10⁸ cm⁻² und nehmen mit abnehmender Schichtdicke zu. Die Ergebnisse werden im Hinblick auf Verformungs- und Versagensmechanismen in dünnen Schichten diskutiert.